質(zhì)量流量控制器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，不需溫度壓力補償。主要由分流器通道、放大控制器、流量傳感器和流量調(diào)節(jié)閥門等部分組成，其中分流器決定主通道的流量。

質(zhì)量流量控制器注意以下三點：

1、怕液體和油污進入流量計，會造成失控，如果質(zhì)量流量控制器的出口接有液體罐，為避免液體回流，需要在質(zhì)量流量控制器出口加上單向閥；

2、怕使用潮濕的腐蝕性氣體，潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹，因此要求在使用腐蝕性氣體前，要對氣體和管路系統(tǒng)進行干燥處理，否則可能會造成質(zhì)量流量控制器通道損壞；

3、怕粉塵，若粉塵進入質(zhì)量流量控制器會堵塞傳感器和分流器，造成測量誤差，要求在進氣口前加裝過濾器。

質(zhì)量流量控制器工作原理：將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源，數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，內(nèi)設(shè)、外設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。